1、前言

        在半導體電子器件行業物料和集合電線加工過程中，物料、晶圓、心片的自動測量是必必須少的環節。不斷地半導體電子器件行業物料自動測量控制系統的發展方向，數字59源表SMU結合起來探頭臺的控制系統組合成早已被很廣軟件應用于物料/細微元電子器件的電學屬性查驗中。數字59源表SMU應有源測耐腐蝕性，會呈現電流值-電流電壓(I-V)屬性身材曲線，是半導體電子器件行業物料物料、元電子器件電耐腐蝕性研究方法自動測量的核心思想；探頭臺有自動、半自動和全自動多種，利用自動測量必須 取舍生活設施的的產品就可以。在選購時必須 需要注意探頭的不銹鋼原料或者針尖的的直徑與外觀，探頭不銹鋼原料有差異，其電阻值不重復；與此同時，探頭尖偏磨和污染破壞也會對自動測量結果致使決定。

        在測試時，通過數字源表提供激勵并對測量信號進行采集。首先將電流或電壓輸入被測器件（DUT），測量該器件對此輸入信號的響應；這些信號的路徑為：源表的輸出端接入電纜，電纜和探針連接，電流或電壓信號通過探針至芯片。

圖：SMU、測試探針、DUT相連接圖示

        下文中，我們將探討數字源表SMU和探針臺的連接注意事項，以及不同材料/器件的測試應用案例。

2、數字源表SMU與探針臺的連接

        檢測(ce)器臺(tai)與源表(biao)的銜(xian)接普通有(you)兩者，那(nei)種采用同(tong)(tong)(tong)定位中心(xin)線銜(xian)接，另那(nei)種采用三同(tong)(tong)(tong)定位中心(xin)線銜(xian)接。當(dang)量(liang)測(ce)小直流電壓(ya)(nA、pA)時，應采用三同(tong)(tong)(tong)軸轉(zhuan)移信息模塊和三同(tong)(tong)(tong)定位中心(xin)線纜。在聯接源表(biao)保(bao)護(hu)(hu)店(dian)鋪推(tui)廣檢查(cha)控制電路中，可能三同(tong)(tong)(tong)軸的保(bao)護(hu)(hu)層與內(nei)芯范圍內(nei)是等電位差，不會產(chan)(chan)生漏直流電壓(ya)產(chan)(chan)生，是可以提(ti)高自己小直流電壓(ya)檢查(cha)定位精度(du)。

圖：三同軸線纜半剖圖

（1導體；2絕緣電阻；3內手機屏蔽了層；4中間商層；5外手機屏蔽了層；6外護線套）

圖：三同中線纜等效線路圖

  上圖下圖為三同中心電力電纜等效電路設計圖，效果中高檔HI和Guard范圍內的電勢差差近乎為0，最后解決電力電纜自身的的漏電流。

以下是使用普賽斯直流源表、脈沖源表、高壓源表、大電流源表與探針臺的接線說明：

S系統直流電源源表

- 兩同軸連接 -

使用香蕉頭轉BNC母頭的轉接頭進行連接；

- 三同軸連接 -

        三同軸接連器與通常兩芯接連器進行區別，可一起接駁走勢燈、接地極和屏弊層，屏弊實際較好。和多芯電纜線不同于之下，三同軸電纜線構成簡簡單單，可以信賴性強；和兩芯同軸電纜線不同于之下，具有著更大的屏弊性能指標和小走勢燈的發送效果。三同軸電纜線的接連原則在使用了GUARD走勢燈，具備了屏弊功用，更助于于小走勢燈的測試。

P系列脈沖源表

- 兩同軸連接 -

使用的杜邦線轉BNC母頭完成接；

- 三同軸連接 -

用到三同軸對接模組開始對接。

E系列高壓源表

- E100(1200V) -

單獨選擇三同中軸線參與相連；

- E200(2200V)/E300(3500V) -

將一般的三同軸變更為超高壓多功能三同水平線；高電壓三同軸插頭的擊穿電壓效率不強，普賽斯安全使用的高電壓三同軸插頭可以擊穿電壓3500V。

圖：左(zuo)-高(gao)壓(ya)低(di)壓(ya)三(san)同(tong)軸、右-傳統三(san)同(tong)軸

HCPL 100大電流源表

大直流電壓預估時，單根電極允許的直流電壓国产精品一区视频-国产午夜亚洲精品午夜鲁丝片-国产免费一区视频观看免费-国产一区二区在线观看视频英文，直流電壓過大可能性會造成的燒針的情況，后果檢驗報告，因而所需用到多電極串并聯。

圖：多檢測器電容串聯示圖

3、探針臺與器件的連接

 在不同的材料測試中可能會遇到共面電極或異面電極的材料。共面電極指陽極和陰極在同一平面；異面電極指陽極和陰極不在同一平面，常見為正反面。

圖：共面電級相連接舉手

圖：異面工業進行連接(jie)展(zhan)示

4、測試注意事項

-探針臺接地：探(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)結構上有很多金(jin)屬(shu)，在帶(dai)電(dian)(dian)的(de)環境(jing)下會存在很強的(de)靜(jing)電(dian)(dian)，一(yi)(yi)般探(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)會自(zi)帶(dai)大(da)地(di)(di)(di)(di)(di)(di)連(lian)接(jie)(jie)(jie)(jie)線(xian)，使用(yong)中將探(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)接(jie)(jie)(jie)(jie)大(da)地(di)(di)(di)(di)(di)(di)，避免釋(shi)放靜(jing)電(dian)(dian)給測試帶(dai)來影響。一(yi)(yi)般地(di)(di)(di)(di)(di)(di)線(xian)分為兩類：一(yi)(yi)種(zhong)是(shi)工(gong)作接(jie)(jie)(jie)(jie)地(di)(di)(di)(di)(di)(di)，另一(yi)(yi)種(zhong)是(shi)安(an)全(quan)性接(jie)(jie)(jie)(jie)地(di)(di)(di)(di)(di)(di)。工(gong)作接(jie)(jie)(jie)(jie)地(di)(di)(di)(di)(di)(di)是(shi)把金(jin)屬(shu)導體銅塊埋在土(tu)壤里， 再(zai)通過導線(xian)引(yin)出地(di)(di)(di)(di)(di)(di)面，將導線(xian)接(jie)(jie)(jie)(jie)入設備(bei)的(de)接(jie)(jie)(jie)(jie)地(di)(di)(di)(di)(di)(di)端口，形成接(jie)(jie)(jie)(jie)地(di)(di)(di)(di)(di)(di)回路。 安(an)全(quan)性接(jie)(jie)(jie)(jie)地(di)(di)(di)(di)(di)(di)是(shi)指使用(yong)探(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)金(jin)屬(shu)外(wai)殼(ke)自(zi)帶(dai)的(de)接(jie)(jie)(jie)(jie)地(di)(di)(di)(di)(di)(di)線(xian)進行接(jie)(jie)(jie)(jie)地(di)(di)(di)(di)(di)(di)，當探(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)金(jin)屬(shu)外(wai)殼(ke)發生絕(jue)緣損壞，外(wai)殼(ke)帶(dai)電(dian)(dian)時，電(dian)(dian)流沿著其外(wai)殼(ke)自(zi)帶(dai)的(de)接(jie)(jie)(jie)(jie)地(di)(di)(di)(di)(di)(di)線(xian)接(jie)(jie)(jie)(jie)入大(da)地(di)(di)(di)(di)(di)(di)，以達到(dao)安(an)全(quan)的(de)目的(de)。

-連接線接地：探針臺的連接線(xian)為同軸(zhou)(zhou)線(xian)，兩(liang)根同軸(zhou)(zhou)線(xian)的內(nei)芯是信號線(xian)，從而導致(zhi)兩(liang)根同軸(zhou)(zhou)線(xian)的外屏(ping)蔽層懸(xuan)空，未起到屏(ping)蔽的作(zuo)(zuo)用，在磁場(chang)環境復雜(za)的情(qing)況下(xia)會對測(ce)試產生(sheng)較大的干擾。因此，為了(le)獲得較好的測(ce)試效果，需要(yao)將同軸(zhou)(zhou)線(xian)纜的外屏(ping)蔽層接入工作(zuo)(zuo)地(di)線(xian)。

-關閉光源：很(hen)多器件(jian)和材料對光(guang)(guang)源(yuan)敏(min)感，測(ce)試中如果(guo)不(bu)關閉光(guang)(guang)源(yuan)會(hui)影(ying)響測(ce)試結果(guo)，所以測(ce)試時盡量在無光(guang)(guang)源(yuan)影(ying)響的環(huan)境中進行(xing)。

-小電流測試時加屏蔽罩：如果測(ce)試電流為pA級(ji)別(bie)，需要給(gei)探針臺增加屏蔽罩。

-異面電極材料連接：異面電(dian)極(ji)材料連接(jie)時通常會使用探針臺Chuck盤做電(dian)極(ji)，但是Chuck盤的(de)平整度會對材料的(de)接(jie)觸面有影響，那(nei)么此(ci)時就需要使用引電(dian)極(ji)。